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真空室的基本认识


真空室是真空设备的主要部件之一。真空设备的生产工艺过程都是在真空室中进行的。真 空室中装有不同的部件,可以完成各种不同的工艺要求。如真空室中有蒸发金属的部件,就可 蒸镀金属薄膜;真空室中有感应加热部件,就可以作为真空冶炼用的真空感应电炉等等。各种 真空设备的真空室尽管完成的工艺过程不同,但大多数真空室都是由筒体、封头、门、冷却水 套、法兰、管道等组成的。

由于使用要求不同,真空室有圆筒形、圆锥形、盒形等。

对于焊接结构的真空室有下列要求:

①为了减少漏孔和漏气量,焊缝的总长度应尽可能短 。

②不要有十字交叉的焊缝,焊缝的髙度应大于壳体厚度的1/3;两缝中心的距离应 大于100mm。

③全部焊缝都能方便地进行真空检潘。

④壳体上需开孔时最好不要开在焊缝上。

⑤为了防止壳体变形,对于非气密性焊缝可用间断焊。

封头是真空室的一个零件,与筒体焊在一起而组成一个整体。真空室封头有凸形、球形、锥 形、平盖形等。

为便于工艺搡作,真空室上都装设有门。门是可动部件,有平盏形、凸形、球形等。

有的真空室上设有冷却水套或敷有水管,这是因为真空室有时处于离温状态下工作,如真 空冶炼设备,为了防止壳体变形和保证密封性,就需要设有冷却水套冷却真空室。

真空室一般用金属轧制板材制成,对材料的要求是可焊性好,气密性好。对于真空度要求 不髙的真空室,所用材料通常为低碳钢、合金钢、铝材和铜材等。对于要求真空度较高而又耐腐 蚀的真空室,一般采用不锈钢。


 

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